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在各类晶片中,尤以衬底抛光片的干燥最为困难,容易出现颗粒和水痕等缺陷。以设备为依托的干燥技术发展迅速,离心甩干技术,IPA Vapo......
为有效去除滴丸在生产中残存的冷却剂,我们采取了离心甩干和滤纸吸附二种方法,经过试验,证明甩干法去除冷却剂最佳,离心时间五分钟较好......
干燥的目的是去除晶片表面的液体,保证晶片的洁净度。干燥技术作为湿法清洗最后的步骤,最终决定了晶片清洗的表面质量。分别探讨了......
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