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光学曲面确定性抛光的面型精度控制研究
光学曲面零件是光学系统的关键元器件。近年来,随着光学曲面零件需求量的日趋增加和光学系统对其光学性能要求的不断提高,光学曲面零......
学位
光学曲面
确定性抛光
移动抛光
材料去除
面型精度
抛光力
抛光轨迹
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