粉末溅射相关论文
通过对粉末溅射SnO/CeO薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温 △trea与气体浓度C存在关系△trea=(AC(其中A,B〉0,n〉m〉0),......
采用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和SnO2/SnO2:Pt双层膜,这两种薄膜材料不仅对CO气体有很高的灵敏度,良好的选择性和较低的工作温度,而且其电导在......
本文指出了薄膜元件能否实用化的关键在气敏层的稳定性,并提出了粉末溅射和高能溅射是气敏层稳定性的保证.说明了能实用化的薄膜元......
通过对粉末溅射SnO/CeO薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温 △trea与气体浓度C存在关系△trea=(AC......
通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温 Δtrea与气体浓度C存在关系Δtrea=(ACn)/(1+BCm) (其 中A ......
介绍粉末溅射 Sn O2 / Ce O2 酒敏薄膜特性的研究和气敏元件气敏层参数的设计 .介绍元件热功耗的规律 ,反应温度的规律 ,测试电压......
采用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 .这两种薄膜材料不仅对CO气体有很高的灵敏度 ,良好的选择性......
用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜.实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体均显......
用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导. 研究了......
通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测定和探讨,总结了出反应升温△trea与气体浓度C存在关系△trea=(AC^n)/(1+BC^m)(其中A,B>0,n>m>0),同时......
针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO:1%Ce......
利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了......
介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导......
粉末溅射有制靶简单、掺杂容易的特点,并有掺杂稳定的优点.利用反溅,发展了粉末溅射,制备了酒敏微型平面薄膜.对薄膜的相关特性进......
介绍粉末溅射研制的SnO2/CeO2酒敏薄膜的性能与膜厚、温度和掺杂量等关系的研究结果,并根据此结果对平面薄膜型敏感传感器的工艺和结构进行了......
介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。......
本文介绍了一种新型结构CO敏的半导体薄膜材料-粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特......
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现......
利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随......