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硅基薄膜材料组份激光微区光谱分析法与应用研究
硅基薄膜的组份对其性能具有重要影响,对其组份的检测一直是国内外科研工作者比较关心的问题。本文采用YJG-Ⅱ激光微区分析仪、组合......
学位
激光微等离子体光谱
碳涂层
硅基薄膜材料
组份检测
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