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为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法.通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵......
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为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则......
