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脉冲偏压电源在等离子体表面改性处理技术应用中起到很重要的作用.偏压可以有效调整载能粒子束流密度、工件表面状态、膜基结合力......
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为了获得一种性价比较高的电子束表面处理技术,采用定频调压电路,研制出一种新型偏压脉冲电源。这种电源由偏压主电路拓扑、偏压变......
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基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该......
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