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晶圆级芯片倒装自反馈匹配视觉对位系统研究
后摩尔时代,新一代芯片器件的小型化、多功能化和集成化要求更先进的集成芯片封装技术。晶圆级芯片直接倒装封装技术作为先进封装......
学位
芯片倒装
封装互连
精准对位
视觉检测
自反馈匹配
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