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辅助轰击能量相关论文

离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响

使用超高真空离子束辅助沉积系统（IBAD）制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表......

期刊

无机非金属材料离子束辅助沉积(IBAD) ZrN/TiAlN纳米多层膜硬度辅助轰击能量 inorganic non-metallic materials

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