应用高纯氮携带液氧蒸气作为氧源的热氧化技术和ＳｉＨ４－ＮＨ３体系ＬＰＣＶＤ技术，制作对辐照吸收有明显响应的ＭＮＯＳ器件，在１０＾３～１０＾５Ｇｙｓ剂量范围内其平带电压江西省多值随辐照......

从理论上给出了具有存储特性的ＭＮＯＳ电容在存储电荷后经爱γ射线辐照的响应规律，并利用这一特性制作电子辐照吸收剂量计。采用ＬＰＣＶＤ工艺制作了......