选择性沉积相关论文
原子层沉积是一种基于表面自限制反应的“自下而上”的高精度气相沉积技术。与其他薄膜沉积技术相比,其具有独特的自限制饱和化学......
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本研究系以不需钯金属活化之无电镀法可将钴合金选择性沉积在箐铜内连线上,作为挡层和覆盖层之应用。无电镀钴合金还原剂(DMAB)可......
在传统的二硝基二氨合铂(P盐)镀铂配方的基础上,实现P-Si表面激光诱导选择性沉积铂。采用SEM、AES、EDS和XPS技术对得到的镀层进行了......
软刻蚀是一类以自组装和复制模塑为基础进行微米、纳米微加工的非光刻技术手段.它使用一个表面带有微图形的弹性印章作为印模或掩......
本文介绍用二氧化硅膜的选择性沉积法来制造精细图形,可获得0.12μm,间距0.08μm的精细图形。文中具体介绍了制造工艺及沉积原理。......
由于导电高分子的导电性和化学性质可以在导体和半导体区间内快速调节[1],因此其复合材料受到了越来越多的关注[2].金属纳米粒子在......
静电纺丝中的纳米纤维选择性沉积技术可提高材料的利用率,减少工序,降低成本。制作分别带圆、矩形和三角形孔三种不同形状的接地金......
催化是现代化工生产和环境治理的一项关键核心技术,发展先进催化剂的设计对繁荣国民经济,解决能源和环境问题具有重要的意义。其中......
在非致冷红外焦平面制作过程中引入化学镀镍实现光敏元阵列与读出电路的互连,该方法具有选择沉积、不需要外部电源的优点,在32×......
随着全球工业化进程的加速,能源短缺和环境污染问题日益突出,严重制约了人类社会的可持续发展。光催化分解水产氢和二氧化碳还原制......