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逐层生长相关论文
本征微晶硅薄膜孵化层的深入研究
采用VHF-PECVD技术沉积微晶硅薄膜,获得较高的生长速度,但是薄膜质量较差,这与初始生长过程中生成厚的非晶孵化层关系密切。本研究......
期刊
VHF-PECVD
本征微晶硅
孵化层
逐层生长
MoTe2薄膜制备及薄膜晶体管输运性能研究
过渡金属二硫族化合物(TMDs)极具魅力的二维层状结构和区别于块体材料的物理性质,激起了人们浓厚的兴趣研究它们在超大规模电子学......
学位
单层MoTe2
分子束外延
逐层生长
薄膜晶体管
单片集成
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