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铁电薄膜MOCVD相关论文
热等离子体雾态气化制备铁电薄膜及其性能研究
在MOCVD制备薄膜技术中,由于有些元素的金属有机物先体难于制备和使用,因此采用MOCVD制备的薄膜种类有限,限制了该技术的进一步发......
学位
热等离子体
热等离子体超声雾化
超声雾化铁电薄膜
铁电薄膜MOCVD
MOCVDTiO<
2>
TiO<
2>LaNiO<
3&g
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