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铝钨共掺杂相关论文

铝钨共掺杂含氢类金刚石薄膜的制备、结构与性能

采用阳极层流型离子源复合磁控溅射技术制备了W和Al元素共掺杂的含氢类金刚石((W,Al)-DLC)薄膜.利用原子力显微镜、场发射扫描电子......

会议

含氢类金刚石薄膜离子源复合磁控溅射铝钨共掺杂微观结构力学性能摩擦磨损性能

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