霍尔离子源相关论文
市场化、小型化将成为中国商业遥感卫星发展的主流趋势,但与之相应的小型化推进系统是制约小型商业遥感卫星应用的一大因素.从上述......
利用等离子辅助沉积方法(PECVD)成功在铜基合金和锌基合金工件表面制备了类金刚石(DLC)涂层,并利用电子扫描电镜(SEM)、拉曼(Raman......
应用电弧离子镀和非平衡磁控溅射镀膜技术相结合的方法,并使用霍尔离子源辅助,制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜.对DLC薄膜的......
根据红外上转换材料测试实验系统的使用要求，选择Ta2O5和SiO2作为高低折射率膜料，通过椭偏仪测试膜料色散代入膜系软件进行设计优化，......
应用于空间的反射镜基底材料碳化硅对表面粗糙度有很高的要求,反应烧结碳化硅作为最常用的碳化硅基底材料,因烧结过程中导致的孔洞......
将中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺结合起来制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜.硬质膜呈深黑......
对于阳极层霍尔离子源装置本身,宽能、大束流、低气耗及低污染等指标是新一代装置的研发方向.基于拓宽装置放电电压范围的考虑,针......
离子源是离子束产生的关键部件,正交电磁场离子源是以霍尔电流为理论基础的一类低能离子源.本文综述了考夫曼离子源、霍尔离子源以......
为进一步提高碳化硅反射镜基底表面光学质量,满足高质量空间光学系统的应用需求,采用电子枪蒸发纯硅,霍尔离子源喷出的氩离子电离......
将非平衡磁控溅射和电弧离子镀工艺相结合，并使用霍尔离子源辅助，制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜。对DLC薄膜的表面形貌、内......
采用霍尔离子源沉积类金刚石薄膜是近年来新出现的一种方法,本文研究了自行研制的霍尔离子源的性能以及采用此离子源制备类金刚石......
为了提高锗基底的透过率和环境适应性,镀制了增透保护膜。应用电子枪蒸发加霍尔离子源辅助的方法沉积了碳化锗(Ge1-xCx)薄膜。通过......
