静电激励相关论文
固有刚性轴方位是半球谐振子振动性能参数的一个核心指标,其方位的精确标定对于谐振子质量平衡精度提升具有重要意义.利用矩阵逼近......
本文分析了谐振轮式微硅陀螺的结构,并对提高微硅陀螺的灵敏度进行了研究,发现选择一个完全轴对称的谐振结构是设计高性能微陀螺的......
对静电激励NEMS谐振器的电容拾振方法进行了研究。采用电容拾振的双端NEMS谐振器的驱动电极与检测电极间由于存在耦合电容，将会......
本文主要通过对静电激励/电容拾振的谐振梁敏感结构的分析,从理论上对静电激励和电容拾振的原理、动态和静态特性以及输入输出信号......
该文是高性能、高精度的静电激励/电容拾振的谐振压力微传感器研制的预研.在该文中完成对静电激励/电容拾振的谐振梁式敏感结构的......
谐振式压力传感器利用谐振器的频率作为输出，具有半数字化、稳定性好、抗干扰能力强等优点，因而广泛地应用在工业控制、航空航天等对......
随着电容式加速度传感器的广泛使用，对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。本文提出了一种简单有效的加速度......
基于多物理场动态耦合分析方法建立了考虑微流体压膜阻尼效应的静电激励微板机电耦合系统动力学模型,采用KBM法对微板多物理场耦合......
设计了一种静电激励/电容检测的硅微机械谐振压力传感器,采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器,利用基于绝缘体上硅的加工工艺......
重点对静止状态谐振子的静电激励方法进行研究。理论上分析了采用单频激励和半频激励时由外加电压产生的静电驱动力之间的差别，根据......
利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试.这是随微机械技术的产生而提......
本文简要介绍了静电激励单丝纤度测定装置的测定原理、方法和产生误差的因素,在分析国外纤度试验仪的基础上,作了某些改进,制作了......
从理论上分析谐振器的静电制动特性和机械力学特性,给出了活动梳齿的谐振频率和谐振振幅的解析解,提供谐振器结构设计的依据.设计......
静电激励的拟线性分析方法金仲和，王跃林（浙江大学信电系）静电力是在微机械中常用的驱动力，已被广泛用于谐振器、静电马达等结构中。在......
本文介绍了静电激励式纤维细度测定装置的结构特点,并对其性能进行了分析....
本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式：向下混频和向上混频.考察的H型梁长度分别为8μm、10......
针对静电激励作用下纳米梁非线性因素导致的振动不稳定问题,研究了当激励频率接近系统固有频率一半时纳米梁在静电激励作用下非线......
介绍了一种电容式微Si加速度计的基本结构以及静电激振法用于电容加速度计动态参数测试的基本原理。提出了在开环条件下，采用静电激......
为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性，建立了测试中的关键模型：静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器......
半球谐振陀螺是一种全新的固体陀螺,具有独特的结构和工作方式。针对半球谐振陀螺信号的提取、检测与控制,提出了半球谐振陀螺信号......
为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的......
期刊
基于MEMS技术的硅微谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器，它通过检测物体的固有频率间接测量压力，为准数字信号输出。其......
对单端口静电激励/电容检测谐振器在交流电压激励和带直流偏置的交流电压激励两种情况下输出电流的谐波成分进行了数值仿真分析。......
随着现代物理学、微电子、计算机和惯性技术的发展,微硅机械陀螺仪以其独特的优点成为惯性传感器的一个发展方向,在军用、民用技术......
