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静电激励微谐振式真空传感器相关论文
微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路研究
本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性,在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则,研制出闭环恒幅驱动电......
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微机械谐振传感器
闭环恒幅驱动
静电激励微谐振式真空传感器
双框架微谐振式陀螺
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