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鲁棒收敛性能相关论文

迭代学习控制方法及其在扫描光刻系统中的应用研究

扫描光刻系统是重要的半导体制造装备，为了提高扫描光刻系统的动态跟踪性能和产率，本文引入迭代学习控制方法。根据扫描光刻系统的特......

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扫描光刻系统迭代学习控制鲁棒收敛性能分段学习控制非因果性宏微运动控制

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