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薄膜的力学测试技术
对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍....
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薄膜
力学性能
残余应力
弹性模量
强度
硬度
纳米压痕
压痕断裂法
微桥
微悬臂梁
微旋转结构
鼓膜试验
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