【摘 要】
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本文报告了利用大型计算软件FLUENT对中科院半导体所新近设计的行星式多层流反应器的输运过程进行的二维数值模拟的初步结果.根据模拟结果,对不同的载气分子和流量、不同的反
【出 处】
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中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
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本文报告了利用大型计算软件FLUENT对中科院半导体所新近设计的行星式多层流反应器的输运过程进行的二维数值模拟的初步结果.根据模拟结果,对不同的载气分子和流量、不同的反应器圆盘直径、流道高度和进口锥角、不同的衬底温度和气体压强等参数,如何引起CVD反应器中输运过程的变化,进行了较系统的总结,对于行星式CVD反应器中输运过程与外部物理、几何参数的定性、定量关系,进行了分析和讨论.
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