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场发射压力传感器是一种新型的压力传感器.本文从数值计算和计算机模拟两方面分析了力敏感膜的形变特性.对两种计算结果进行了比较,得出了硅尖锥阵列体近似线性的形变特性曲线,并且求出了用表达式求解硅尖锥阵列体形变的修正值.
场发射压力传感器敏感膜的计算机模拟
【摘 要】
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场发射压力传感器是一种新型的压力传感器.本文从数值计算和计算机模拟两方面分析了力敏感膜的形变特性.对两种计算结果进行了比较,得出了硅尖锥阵列体近似线性的形变特性曲
【机 构】
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北京理工大学电子工程系(北京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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