【摘 要】
：
本文采用溶胶-凝胶技术在(100)Si 衬底上沉积BaTi0.8Zr0.2O3-0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3(BZT-0.5BCT)压电薄膜,并探讨退火温度(800℃,750℃,700℃,650℃)对薄膜压电性能、纳米
【机 构】
：
江苏省土木工程材料重点实验室,东南大学,南京,211189
【出 处】
：
第十五届全国电介质、材料与应用学术会议
论文部分内容阅读
本文采用溶胶-凝胶技术在(100)Si 衬底上沉积BaTi0.8Zr0.2O3-0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3(BZT-0.5BCT)压电薄膜,并探讨退火温度(800℃,750℃,700℃,650℃)对薄膜压电性能、纳米力学性能以及微观摩擦行为方面的影响.XRD 结果显示薄膜的结晶性随着退火温度的升高而增强,但过高的退火温度会使薄膜内部析出微量的氧化物；结合AFM 对薄膜的形貌测试,发现退火温度越高得到的薄膜表面越致密光滑.压电系数d33 结果表明,经过高温退火处理后的薄膜展现出更加优异的压电性能,甚至可以达到112pm/V.这主要归因于高温下薄膜内部晶粒获得足够的能量生长,晶粒尺寸适中,薄膜致密性提高,表面粗糙度低等因素.鉴于压电薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用,其不仅要在压电性能上满足器件的使用要求,薄膜的纳米力学性能以及微观摩擦行为也必须值得关注.本文利用Ultra Micro Hardness Tester 对不同退火处理的薄膜纳米力学性能,包括弹性模量(Er)、硬度(H)进行了系列研究；利用LFM 对薄膜的微观摩擦行为做了一定的探讨.结果表明,Er、H 都随退火温度的提高而得到增强；微观摩擦学的结果一方面表明压电薄膜在外在微载荷的作用下表面会产生"粘附效应",且压电性能越高粘附效应越强；另一方面也表明薄膜的摩擦系数对弹性模量有一定的依赖关系.
其他文献
随着半导体技术节点的推进,Si 基Flash 非易失性存储器(NVM)已逐渐暴露出尺寸缩小困难、运行速度缓慢、写操作中的高电压等技术障碍问题。因此,新型存储技术以及存储器候
论文研究了Bi2O3 加入量(质量分数)对Sr0.4Ce0.4TiO3-CeO2(SCT-Ce)陶瓷微波介电性能的影响.借助X 衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同Bi2O3 加入量对SCT-Ce 物
本论文主要基于核酸工具酶、DNAzymes辅助,靶标循环以及等温链置换扩增反应等信号放大策略,构筑了三种DNA荧光生物传感器,实现对核酸的高灵敏分析检测。主要内容包括:(1)基于靶标自循环和级联循环指数扩增策略(TR-CEA),构建了一个超灵敏、一步检测靶标DNA的生物传感器。整个传感体系由两个巧妙设计的发夹DNA链和两种酶构成,荧光探针(MB),包含一个切刻内切酶的识别片段,3’突出片段与茎环(
对复合电沉积技术制备厚的Cu-SiC金属基复合材料的工艺及性能进行了研究,确定了制备厚铜的工艺条件,并在此基础上采用正交实验研究了复合电沉积过程中镀液中微粒含量、微粒粒
铁电材料具有优良的铁电性、热释电性、压电性以及非线性光学效应等物理特性,目前已被广泛应用于致动器、传感器、存储器等功能器件,一直以来是智能材料与智能结构领域的研究
对电极是染料敏化太阳能电池的重要组成部分,通常由导电基底和具有催化活性的材料组成.用以收集从光阳极经外电路传输过来的电子,并催化还原电解液中的电子受体,从而形成闭合
Recently lead-free piezoelectric material with large strain response was paid great attention due to its potential for "on-off" actuator applications.Several la
全新的FENESTRATION BAU China将于2017年11月7~10日在上海新国际博览中心举办。届时,Hormann霍曼门业、Geze盖泽、YKK AP威可楷、Lixil骊住集团、Assa Abloy亚萨合莱、Roto
本文对KTa1-xNbxO3(x=0.40,0.42,0.43)晶体居里温度附近的二次电光系数进行了研究.随着温度从居里温度升高,电光系数|R11| 和 |R12|迅速减小,如图1 所示.令人感兴趣的是,电光
该论文以中心线型光源气-液-固三相管式反应器为例,以不锈钢丝网负载TiO粉末为催化剂,针对影响苯酚降解反应的宏观因素,探讨了在填充床鼓泡反应器内水中苯酚的光催化降解反应