【摘 要】
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Surface acoustic wave (SAW) devices based on scandium aluminum nitride (ScAlN) films are attractive materials because the substitution of Sc atoms at Al positio
【出 处】
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2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
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Surface acoustic wave (SAW) devices based on scandium aluminum nitride (ScAlN) films are attractive materials because the substitution of Sc atoms at Al positions causes a lattice distortion inducing a large piezoelectric response.
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