【摘 要】
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光掩膜版是光刻工艺过程的基本工具,其质量的优劣直接影响光刻图形的好坏。随着微电子技术、激光应用技术发展的日新月异,一些先进国家不断加强光掩膜版缺陷修补技术尤其是铬
【基金项目】
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国家自然科学基金资助(编号:50575005);北京市教委项目资助(编号:KM200510005013)
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光掩膜版是光刻工艺过程的基本工具,其质量的优劣直接影响光刻图形的好坏。随着微电子技术、激光应用技术发展的日新月异,一些先进国家不断加强光掩膜版缺陷修补技术尤其是铬掩膜版透明缺陷的激光修补技术的研究,而国内光掩膜版缺陷修补技术的研究还不多,开发铬掩膜缺陷修补尤其是透明缺陷的激光修补技术,是提高国内光掩膜版生产技术和质量的迫切需要,同时对我国先进大规模集成电路制造业持续、快速向前发展具有重要战略意义。
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