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设计了一种能实现大行程位移和高精度定位的工作台。工作台采用直线电机和压电陶瓷双重驱动，通过二次定位，以精密光栅尺组成工作台的全闭环反馈控制，从而解决了大行程和高精度之间的矛盾。利用力学理论知识，推导其刚度理论计算公式，同时在Pro/E建模及workbench中分析微动台的静态特性和振动特性。理论分析、有限元计算结果的一致性为设计提供了有效的依据。