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利用脉冲激光沉积技术制备出了掺氮和未掺氮的类金刚石薄膜。采用X射线衍射仪、喇曼光谱仪、扫描电镜观察了掺氮和未掺氮类金刚石薄膜的微结构和表面形貌。场发射实验表明，掺氮降低了类金刚石薄膜的阈值电场，提高了发射电流密度。
掺氮对类金刚石薄膜场发射的影响
【摘 要】
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利用脉冲激光沉积技术制备出了掺氮和未掺氮的类金刚石薄膜。采用X射线衍射仪、喇曼光谱仪、扫描电镜观察了掺氮和未掺氮类金刚石薄膜的微结构和表面形貌。场发射实验表明，掺氮降低了类金刚石薄膜的阈值电场，提高了发射电流密度。
【机 构】
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郑州工业大学数理系（郑州） 中国科学院安徽光学精密机械研究所（合肥）
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
【发表日期】
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1999年12期
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