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5. Measurement configuration optimization in optical scatterometry for subwavelength grating reconstruc

Measurement configuration optimization in optical scatterometry for subwavelength grating reconstruc

来源 :第二届全国偏振与椭偏测量研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：htloveqy

【作 者】

：

Jinlong Zhu Yating Shi Lynford L.Goddard Shiyuan Liu 

【机 构】

：

PhotonicSystemsLaboratory,DepartmentofElectricalandComputerEngineering,UniversityofIllinoisatUrbana-

【出 处】

：

第二届全国偏振与椭偏测量研讨会

【发表日期】

：

2016年11期

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