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本文简单介绍了面向半导体制造业的MES系统功能和框架,并结合这一框架分析了某MES软件平台的实现方式和应用实例。本文着重于讨论MES系统对于半导体制造业高复杂度的制造流程的模拟方式,并以具体数据说明了MES系统对于半导体制造业生产效率提高的作用。
面向半导体器件封装的MES系统应用研究
【摘 要】
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本文简单介绍了面向半导体制造业的MES系统功能和框架,并结合这一框架分析了某MES软件平台的实现方式和应用实例。本文着重于讨论MES系统对于半导体制造业高复杂度的制造流程
【机 构】
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同济大学电子与信息工程学院;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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上海市科委基础研究重点项目06JC14066
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