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铝型材热挤压模具的磨损、润滑和使用寿命短等问题直接影响着铝加工行业中铝产品的质量和厂家的经济效益.我院与广东兴发铝型材厂合作,将离子注入技术应用于铝型材生产,对铝型材挤压模具进行了表面改性处理.51只离子注入改性后的模具在线实验表明:模具总的中间使用寿命平均提高了140﹪,同时改善了铝型材的表面光洁度,减少了模具的拆卸、修整次数和降低了生产工人的劳动强度.
利用飞行时间谱仪(TOF)技术测量了1~ 5MeV Si离子轰击SiO产生的Si能谱和溅射产额.发现在1~2MeV时SiO的溅射过程可以利用核溅射理论来较好的解释;当入射离子能量高于4MeV时电子溅射机制开始占主要地位,测量结果比较符合热峰模型的预言.在中间能量区域,两种机制的作用都比较明显.通过对实验结果的分析,得到了描述不同能量重离子溅射SiO的普适溅射产额公式.
高频四极场加速器(Radio Frequency Quadruple—RFQ)是反聚束、加速、横向匹配和聚焦集于一体的新型加速结构,可以取代体积庞大的高压倍加器,作为高能加速器的注入器.RFQ有两种类型:四杆型(Four Rod)和四翼型(Four Vane).由于RFQ结构紧凑,体积小,公差严,机械设计加工和安装准直测量都相当困难.在研制BPL-RFQ的过程中,我们采取了一些特殊措施.本文介绍四
电子束缩小投影曝光技术是制造下一代集成电路(0.1μm以下线宽)最有希望的途径之一.目前美、日等发达国家正在加紧开发这一技术,使之尽快成为21世纪微细电路的主要生产装备.作为缩小投影曝光装置核心部件的电子光学镜筒包括发射系统、照明系统和缩小投影系统三部分,而最终的分辨率主要由缩小投影透镜的电子光学性能所决定.我们采用反对称双磁透镜系统,它在理想状态下可以消除所有的各向异性象差,放大和旋转色差,以及
火电厂等大型燃煤锅炉所排放的SO和NO是引起大气污染和酸雨加剧的主要污染源之一,而煤电工业占我国电力生产的75﹪以上,因此,火电厂烟气的净化处理已得到我国各级政府和有关部门的充分重视,加快我国燃煤电厂烟气治理技术的研究开发是我国电力环保的重要任务与课题.燃煤烟气电子束脱硫脱氮技术以其独特的工艺受到了电厂用户、环保工程公司和科研院所的广泛关注.本文介绍了中国科学院上海原子核研究所在此领域的研究;描述
本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用及磁放滤等离子体沉积和注入装置以及它的应用.
第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置已于2000年6月在成都,西南交通大学正式验收,并被用于材料表面改性的研究与开发工作.与第一代多功能PIII装置不同的是该装置更强调用于医药生物材料的处理,因而该装置具有以下特色:(1)它的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既有镀膜功能,同时也有气体与金属离子注入的功能,以形成有足够膜厚的,强膜基结合力的,表面特性很好的改性层;(2)它的脉冲高压电源不强调
本文基于阴极爆炸电子发射和电子对气体的碰撞电离模型,用PIC粒子模拟方法研究了单间隙气体放电的物理过程.给出了在1.33×10Pa氢气压和10kV放电电压下,单间隙气体放电过程中阴极爆炸发射产生的电子和电子碰撞电离产生质子的动力学特性.计算结果也将有助我们对气体放电过程的认识.
本文介绍由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca、He离子的研究及其分别注入钛膜与纳米膜的微结构分析.Ca注入Ti膜样品的XPX分析表明:在1×10注入剂量下,Ca的含量达33﹪,且钛表面主要形成CaTiO、CaO和TiO,表明注入Ca是以化学结合的方式与钛基体连接:He注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15~40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐方式计算出XTA405-4的纳米膜的平均晶粒粒度由
研究了用离子束技术控制材料表面电子发射性能的方法.报告了这一技术在抑制行波管栅极电子发射、制备场发射平板显示器阴极及改善生物医学材料抗凝血性能等方面的应用及结果.