等离子体沉积相关论文
本文从真空等离子体装备技术及其应用进行了综述.重点对等离子体沉积(如磁控溅射,过滤阴极电弧沉积,等离子体化学气相沉积),等离子......
在高功率微波器件中,多级降压收集极(multistage depressed collectors,MDC)表面的二次电子发射特性对收集极的效率有很大的影响。......
常压射频等离子体对反应性气体裂解效率高,辅以脉冲或者偏压调制,可以较好的调控沉积薄膜的结构形貌,由于沉积温度较低,在有机......
木文采用真空电弧等离子体沉积(VAPD)法制备组成均匀的Fe-Sn催化剂薄膜并用以制备高结晶性CNC(碳纳米线圈)，下面就具体的制备方法进......
冠心病是由于脂质沉积于血管壁造成的冠状动脉狭窄或阻塞，从而引起的心肌缺血和供氧不足。经皮冠脉成形术(Percutaneous translumin......
该文通过理论和实验全方位地研究实验条件、近表面等离子体输运、近表面沉积粒子分布以及基底表面上薄膜生长之间的条件.首先从实......
用苯（C_6H_6）和三氟甲烷（CHF_3）混合气体作源气体，采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积（MWECR—CVD）技术，成功地制备了低介电常......
利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜......
电子回旋共振等离子体沉积氮化碳（ＣＮ）膜的工艺及ＸＰＳ研究＊张大忠孙官清刘仲阳陈剑王宣梁学才（原子核科学技术研究所）钟光武（西南物理研究院核聚......
用脉冲ｄｃ辉光放电通过等离子辅助化学气相沉积工业用金属陶瓷刀片镀上ＴｉＮｘ，ＴｉＣｘＮｙ和Ｎｘ。在７７３－９７３Ｋ的沉积温度范围内，研究了涂层参数对沉积率，涂层成分，涂层－基......
利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质......
单基取代的有机硅前身的等离子体沉积能够导致一些层含有广延的Ｓｉ－Ｓｉ键合的主键。娄这些膜同时暴露于紫外线和氧时，Ｓｉ－Ｓｉ健裂开，氧进入形成Ｓｉ－Ｏ－Ｓｉ聚合......
采用直流等离子体沉积的方法制备了具有不同氟含量的类金刚石薄膜。并利用多功能x射线光电子能谱仪（XPS）、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、......
软硬交替的多层膜体系具有超硬、强韧、耐磨、自润滑的优势,能大大提高金属切削刀具在现代加工过程中的耐用度和适应性。设计Al/Ti......
介绍了采用９０°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉成膜系统，对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究，实验观察到，弧源聚焦磁场和过滤管道......
建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置，通过在90度磁过滤管道和阴极之间加30－60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高，研究和......
利用有磁过滤器的等离子体沉积装置，在不同温度的Si基底上沉积氮化铌(NbN)薄膜，通过XRD，XPS，SEM等分析，研究了NbN薄膜的表面形貌与微观......
研究了在聚氨酯、环丙沙星复合物基质上，通过射频辉光放电，沉积等离子体膜层，借以控制药物释放速率的方法，测定了膜的结构，并在体外对药......
介绍阳极真空弧设备的现象。对弧等离子体特性，阳极的蒸发和起弧方式进行了实验研究。在２５Ａ弧电流下，电子温度０．４￣０．７ｅＶ，电子浓度１０＾１５￣１０＾１７ｍ＾－３，离子通量１０＾１８￣１０＾２０ｍ＾－２ｓ＾－１。......
以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasma based pulsd bias deposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC......
本文研究了将ＴｉＣｌ４，Ｎ２，Ｈ２混合气体在钢和玻璃等基体表面进行等离子体辅助化学气相沉积的ＴｉＮ涂层。结果表明：ＴｉＮ涂层的密度和晶性受射频放电功率密度的......
利用直流电弧放电合成非晶碳氧化硅（SiCO）纳米线，不使用催化剂和模板，独立的SiCO纳米线沉积在石墨锅的表面．通过XRD、SEM、TEM、XPS、FT......
利用傅里叶变换红外光谱仪和X射线激发的CKLL俄歇谱的一次微分表征了类金刚石（DLC）膜的微结构。指出在高离子能量轰击低CH4压强下所......
利用磁过滤等离子体沉积技术在单晶Si和碳钢衬底上生长一层NbN沉积膜,用XPS,XRD和SEM对膜层进行测量和分析,结果表明,沉积膜为δ-N......
本文对应用高气压和低气压等离子体沉积法制造光波导作了评述。首先概略地讨论了光波导的工作原理、类型及其制造要求,接着叙述了......
A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts......
为使木材表面具备疏水性能,采用等离子体刻蚀并沉积亲水性类金刚石(DLC)薄膜的方法对糖枫木(Acer saccharum)进行表面改性研究,通......
研究了Ｔｉ（ＣＮ）薄膜内氧的作用。研究结果表明，Ｔｉ（ＣＮ）薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构，薄膜的断口呈致密的纤维状组织。随着反应气体中空气......
