【摘 要】
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本文采用磁控溅射技术在钕铁硼表面制备了厚度约为14.0μm的铝膜,使用循环氩离子轰击铝膜的方法制备了3个周期的多层铝膜,研究了循环氩离子轰击对铝膜层形貌、结构及耐中性盐
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本文采用磁控溅射技术在钕铁硼表面制备了厚度约为14.0μm的铝膜,使用循环氩离子轰击铝膜的方法制备了3个周期的多层铝膜,研究了循环氩离子轰击对铝膜层形貌、结构及耐中性盐雾腐蚀性能的影响。使用扫描电镜观察铝膜的表面和截面形貌,X射线衍射仪表征膜层的晶体结构,用盐雾试验测试了膜层的耐中性盐雾腐蚀性能。结果表明:与相同厚度的单层铝膜相比,3个周期的多层铝膜晶粒均匀细小,膜层的柱状晶结构被打断,内部形成了两个明显的界面,膜层沿(111)晶面择优生长,中性盐雾试验结果表明,与厚度相同的单层Al膜相比,3个周期的多层Al膜的耐蚀性显著提高,其耐中性盐雾腐蚀时间可达到312小时。
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