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本文介绍了将AutoCAD产生的DXF文件数据转换为逐点式电子束机专用曝光数据DY51格式的主要算法及程序流程.
AutoCAD文件到电子束曝光数据的转换
【摘 要】
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本文介绍了将AutoCAD产生的DXF文件数据转换为逐点式电子束机专用曝光数据DY51格式的主要算法及程序流程.
【机 构】
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山东大学控制科学与工程学院(济南)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年期
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