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本文介绍缩小投影电子束曝光实验装置中的标记检测系统,给出了实验中得到的标记检测重复精度,提出进一步提高精度的方法.
电子束投影曝光机的标记检测系统研究
【摘 要】
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本文介绍缩小投影电子束曝光实验装置中的标记检测系统,给出了实验中得到的标记检测重复精度,提出进一步提高精度的方法.
【机 构】
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中国科学院电工研究所(北京)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年期
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