【摘 要】
：
大尺寸、高分辨率、高刷新率和低功耗面板是显示技术发展的趋势,Al 电极已难以满足高性能显示的需求,开发高导布线电极材料意义重大.为了开发高迁移率、低电阻率,同时具备良好附着强度的电极材料,我们对Cu、Cu-0.5％Cr、Cu-0.3％Cr-0.2％Zr 这三种电极进行了研究.采用不同溅射功率和气压制备出200nm 厚度的薄膜,发现增大溅射功率、减小溅射气压可以使薄膜的沉积速率增大、密度上升和电阻率
【机 构】
：
高分子光电材料与器件研究所,发光材料与器件国家重点实验室,华南理工大学,广州 510640
论文部分内容阅读
大尺寸、高分辨率、高刷新率和低功耗面板是显示技术发展的趋势,Al 电极已难以满足高性能显示的需求,开发高导布线电极材料意义重大.为了开发高迁移率、低电阻率,同时具备良好附着强度的电极材料,我们对Cu、Cu-0.5％Cr、Cu-0.3％Cr-0.2％Zr 这三种电极进行了研究.采用不同溅射功率和气压制备出200nm 厚度的薄膜,发现增大溅射功率、减小溅射气压可以使薄膜的沉积速率增大、密度上升和电阻率下降.
其他文献
The problem of unconventional magnetism in materials without d and f electrons has attracted continuous attention.In particular,a lot of efforts have been devoted to understand the origin and effects
Recently,electronic devices have been required with miniaturization,high-speed,low energy-consumption,and flexibility due to the rapid development of the modern wireless communication.There is a growi
The Kondo effect,a many-body phenomenon arising from screening a magnetic impurity by itinerant electrons,has fascinated physicist since its discovery.This presentation demonstrates a system applying
Carbon black(CB)nanoparticle is widely used as the black pigment in electronic ink because of its great performance in light absorbing.However,CB is not directly suitable for EPD applications for its
柔性高效吸热型金属陶瓷复合膜有良好的应用前景.本文在柔性聚酰亚胺基底上制备了Cr/Cr2O3 金属陶瓷选择吸收膜,经过膜系设计和试验镀制,制备出了室温下吸收率α为0.85,发射率为0.15,并且能耐受低温环境的高性能太阳能选择吸收膜.
Conductive nanomaterial has drawn much attention and is regarded as candidate material for future flexible displays and flexible sensors.AgNWs has outstanding overall performances,such as superior fle
We propose a dual-side see-through 3D display system based on a holographic optical element(HOE)lens array.The recording of the HOE lens array is shown in Fig.1.(a).The HOE lens array is used as an im
本文在基于 ATMEL 触控芯片的电容屏多触摸源识别技术基础上，实现一款基于安卓系 统的悬浮窗界面插件 APP 设计。该应用 APP 主要通过识别手指尖、指关节、指甲三个部位对 悬浮窗的点击，对应触发应用软件中的截屏功能、录屏功能、相机功能。录屏和截屏功能模 块以 API 21 开放的接口——MediaProjection 为核心，悬浮窗主要通过 WindowManager 和 Service 实
氧化物半导体被认为是最有前景的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)材料[1].但目前开发的大部分氧化物TFT器件都需要采用热退火工艺来提高其性能,这对衬底的热稳定性、耐温性提出了较高的要求,不利于其在柔性显示器件中的应用.本文采用室温工艺成功制备了ZnO薄膜晶体管(如图(a)所示：栅极Al：Nd合金和源/漏电极ITO采用磁控溅射制备,栅极绝缘层Al2O3：Nd是由栅极Al
图形化电极是薄膜晶体管(Thin Film Transistors,TFTs)中重要的组成部分,主要起着电学信号传输 与散热的作用。随着显示器件朝着高分辨率、高帧频、大尺寸、柔性和低能耗的方向发展,推动了 TFT 中 采用低电阻、细线宽和低成本等技术。喷墨打印具有低成本、污染小、高效率和直接图形化的优点,是解 决这一问题的有效途径。喷墨打印主要是通过打印喷头将金属墨水喷出,在基板获得图形化电极,再