微机电谐振器动力学研究现状及若干问题探讨

来源 :第七届全国动力学与控制青年学者研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huhu39

【摘要】

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微机电谐振器是一种实现电能和机械能转换的复杂微机械结构,因其具有卓越性能在质量与生物化学传感、射频滤波、信号处理、探测定位、无线通讯等领域卓越的性能倍受关注,已成

【作者】

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张文明

【机构】

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上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海200240

【出处】

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第七届全国动力学与控制青年学者研讨会

【发表日期】

：

2013年7期

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微机电谐振器是一种实现电能和机械能转换的复杂微机械结构,因其具有卓越性能在质量与生物化学传感、射频滤波、信号处理、探测定位、无线通讯等领域卓越的性能倍受关注,已成为当前该领域研究的一个重点和热点.微机电谐振器不仅仅是宏观谐振器件的简单微型化,而是基于现代科学技术之上的有多门交叉学科组成的新的研究领域,是整个微/纳米科学技术的重要组成部分,具有其自身的特性.

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