【摘 要】
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ZnO的宽直接带隙和强激子结合能的特性使其成为一种理想紫外激光材料,在随机激光、法布里-珀罗(F-P)腔激光、回音壁模(WGM)激光中,ZnO回音壁模式激光由于其有极低的阈值
【机 构】
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东南大学生物电子学国家重点实验室,南京 210096
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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ZnO的宽直接带隙和强激子结合能的特性使其成为一种理想紫外激光材料,在随机激光、法布里-珀罗(F-P)腔激光、回音壁模(WGM)激光中,ZnO回音壁模式激光由于其有极低的阈值和极高得到品质因子激励着人们去研究。课题组利用ZnO单晶微米棒良好的光学性能制备了n-ZnO微米棒／p-GaN异质结微激光器,实现了电泵浦的ZnO回音壁模式激光。在此基础上,进一步简化工艺,制备了电泵浦n-ZnO微米棒／p-GaN异质结回音壁模微激光器阵列。制备过程如下：(1)将单根ZnO微米棒集成在p型氮化镓(GaN),然后将溅射ZnO薄膜的ITO玻璃扣在集成好ZnO微米棒的p型GaN衬底上(2)在ITO玻璃和p型GaN之间注入环氧乙酯,通过对环氧乙酯退火固定器件的内部结构,(3)在ITO的另一端蒸镀金电极,在p型GaN表面制备In电极,制备成n-ZnO微米棒/p-GaN微激光器阵列。对该器件施加电压,观察到了电致受激辐射,但是得到的ZnO微米棒的回音壁模激射光谱模式不清晰,这是多根单晶ZnO微米棒同时激射的缘故。
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