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本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究.讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了金刚石膜的表征方法和结果.最后介绍了金刚石在短毫米波TWT中初步应用进展.
MPCVD金刚石的研制及其应用研究
【摘 要】
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本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究.讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了金刚石膜的表征方法和结果.最后介绍了金刚石
【机 构】
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北京真空电子技术研究所 微波电真空器件国家实验室 100015
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
【发表日期】
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2013年期
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