微波等离子体化学气相沉积相关论文
人工合成金刚石技术极大地推动了工业技术的进步，并有望进一步为科学技术的发展带来革命性的突破。本文介绍了人工合成金刚石技术，详......
目前用于制备高品质金刚石薄膜的一个重要方法就是微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术,该技术在金刚石膜沉积过程中高度可控,并且......
日盲紫外探测由于在军事及民用领域的重要作用,近年来受到了广泛关注,其中基于超宽禁带半导体的日盲紫外探测器阵列更是研究的热点......
金刚石具有优异的光学、力学、热学、电学性能,是一种典型的多功能材料,在航空航天、能源、精密加工等高新技术领域有着极佳的应用......
学位
利用微波等离子化学气相沉积的方法,制备出微米金刚石聚晶颗粒薄膜,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了薄膜的形貌与结构,......
采用3 kW/2 450 MHz微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以高纯氢气、高纯甲烷为反应气体,单晶硅为衬底,制备了微米级金刚石薄膜......
期刊
采用3 kW/2450 MHz微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposi-tion,MPCVD)系统,以单晶硅为基底材料,采用......
期刊
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,通过改变气源中的氮含量,得到不同结晶质量的单晶金刚石,通过激光切割以及抛光控制样品......
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以氧化硼-乙醇溶液作为硼源,成功制备出硼掺杂金刚石膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射......
石墨烯作为一种二维的材料，由于其独特的性质和广泛的应用前景，近年来受到了人们的极大关注。目前，基于平行于基底生长的石墨烯器件已......
会议
采用微波等离子体气相沉积(MPCVD)在商用3 mm×3 mm×1 mm高温高压合成(HPHT)Ib型(100) 金刚石衬底上同质外延生长B掺杂金刚石薄膜......
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以氧化硼-乙醇溶液作为硼源,成功制备出硼掺杂金刚石膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射......
高功率氮化镓(GaN)基半导体电子器件的进一步发展受到其低热导率及高界面热阻的限制。采用和氮化镓结合紧密的高热导合成金刚......
为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化......
金刚石具有高热导率、高击穿电压、耐辐射性佳、低热膨胀系数和良好的化学稳定性,因此被人们认为是下一代半导体器件中的重要候选......
采用微波等离子化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为反应气体,在镀有金属钛的陶瓷衬底上,制备了微米金刚石聚晶薄膜.利用扫描电镜、拉......
本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究.讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了......
微波等离子体化学气相沉积是制备高质量金刚石膜的一个理想的方法。本文利用具有强化电磁场分布的压缩波导结构，设计了一套微波......
为了制备一种新型的硅掺杂金刚石薄膜，我们采用理论计算结合实验制备的方法对其进行了研究。已经有一些学者对硅掺杂金刚石薄膜进行......
金刚石是一种在室温下有很高热导率的材料，利用微波等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)制备的类金刚石膜是大功率发光二极管理想的......
纯六方氮化硼(hBN)是一种直接带隙宽禁带半导体，其禁带宽度接近6eV，在紫外发光器件及高频电子器件领域具有重要的应用前景。本研究采......
燃料电池是一种洁净高效的能源利用形式，在新能源领域具有重要地位。开发可替代Pt的高效廉价的催化剂对燃料电池商品化应用意义重大......
针对高速、高质量金刚石单晶外延的优化工艺技术，本文利用自行研制的10kW、2.45GHz不锈钢谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)......
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在圆形Mo片基底上制备不同类型的金刚石薄膜作为阴极，首次在高达85V/μm的微波电场下研究各......
本文采用自行研制的功率为10kW、频率为2.45GHz的不锈钢谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置，以单面抛光的P型(100)取向的......
医用金属材料钛合金(Ti6Al4V)具有低密度、高强度、耐腐蚀等优点而应用广泛,但是耐磨性差,生物相容性也有待进一步改善;牙科钻头存......
本文分别采用直流磁控溅射技术和微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)技术在镀钛氧化铝陶瓷衬底上制备了氮化碳薄膜，并研究了样品......
分析研究复合碳膜的制备及场发射效果。在陶瓷衬底上磁控溅射一层金属钛,对金属钛层进行仔细研磨,放入微波等离子体化学气相沉积腔......
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是目前最有发展前景的高质量金刚石薄膜沉积方法之一,但由于谐振腔中微波与等离子体之间强烈的......
无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MP......
针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘......
以镀有Ti层的Al2O3为衬底,在微波等离子体化学气相沉积系统中,以CH4和H2为反应气体,快速制备了链状碳纳米管薄膜(沉积时间仅1 min)......
期刊
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
期刊
用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在硅片和铂基片上生长了氮化碳薄膜.扫描电镜(SEM)观察显示,在硅片上形成了多晶的膜;EDX能谱......
用微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)在硅和铂衬底上得到高质量的C3 N4薄膜 .计算了α C3 N4和β C3 N4单相X射线谱的峰位和强度......
期刊
场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜......
采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平......
超纳米金刚石(UNCD)是一种全新的纳米材料,具有许多独特性能.介绍了Si微尖和微尖阵列阴极沉积超纳米金刚石薄膜的工艺及其场发射特......
利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在刻线的镍膜上沉积碳纳米管膜。通过SEM和拉曼光谱表征,讨论了催化剂厚度、制备温度......
期刊
采用钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)设备,以氢气和甲烷作为反应气源,制备了一种新型结构碳材料--碳纳米针.通过扫描电子......
利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置，研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响。通过扫描电子......
期刊
利用微波等离子体化学气相沉积法,在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上制备出类球状微米金刚石聚晶膜,后对膜的表面进行氮离子的注入.通过......
应用微波等离子体化学气相沉积方法 ,在单晶Si(10 0 )衬底上生长出SiC纳米线 .应用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、能量损失谱 (......
提出一种分析微波等离子体化学气相沉积工艺条件对金刚石薄膜的组成和光学性质影响的方法。采用红外椭圆偏振光谱仪来分析Si衬底上......
目的在实验室自制的5 kW圆柱形单模微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上,系统研究各放电参数对等离子体的影响。方法采用模拟计......
利用微波等离子体辅助化学气相沉积的方法，以H2、CH4和D4（八甲基环四硅氧烷）为沉积先驱物，探索了一种在硬质合金基底上制备出含Si元素......
在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法制备出类球状微米金刚石聚晶膜。通过二极管结构测试了聚晶膜的场致......
利用石英管型微波等离子体化学气相沉积装置,在Si基板上制备了具有纳米针状结构的碳膜。场发射特性测试表明,纳米针状结构碳膜具有......
采用钟罩式微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）设备，以氢气和甲烷作为反应气源，制备了一种新型结构碳材料——碳纳米针。通过扫描电子显......
在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属Ti层后,改用CH4为溅射气体制备一层碳化物过渡层,利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法制备......
