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研究了在相移掩模下利用偏振光照明的分辨力极限。结果表明利用光的偏振特性可以进一步提高光刻分辨力。
利用照明光的偏振特性提高光刻分辨力
【摘 要】
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研究了在相移掩模下利用偏振光照明的分辨力极限。结果表明利用光的偏振特性可以进一步提高光刻分辨力。
【机 构】
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院光电所微细加工光学技术国家实验室
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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