预曝光对于连续浮雕微结构制作的影响

来源 :第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aqwww8
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
简述了预曝光在极坐标激光直写法制作连续浮雕微结构技术中的作用原理及应用,研究了预曝光技术对于连续浮雕微结构制作的影响规律,提出了在极坐标激光直写法制作连续浮雕微结构过程中替代预曝光的方法。
其他文献
截止2008年底,我国开放式基金账户总数为1.68亿户,估计约有四分之一的城镇居民家庭参与了基金投资。对投资基金的关注已然成为与人们日常生活息息相关的一件大事。目前,基金
本文介绍了一种运用单片集成技术设计的26.5~40 GHz的全频段低噪声放大器.通过测试,该放大器在常温和高低温状况下增益都可以大于30 dB这一指标要求,增益平坦度小于±2.5 dB,
Independent component analysis (ICA) is the primary statistical method for solving the problems of blind source separation. The fast ICA is a famous and excelle
对各级新的领导班子,应该采取什么态度,才算比较正确? 我的意见是,首先是支持,同时也要及时指出工作中的缺点,要把两者结合起来。一味说好话,不免近于盲目吹 What attitude
本文采用固态电路将微波信号倍频到毫米波是获得毫米波源的一种重要和有效的手段.研制的四倍频器将微波信号四次倍频到毫米波,实现了Q波段(33GHz~50GHz)全带宽输出.该四倍频器
用人工加速的方法研究了高温对环氧胶粘剂的影响.用万能试验机测试发现经过高温老化后,环氧胶粘剂的胶粘强度在初期虽有所增加,但随着老化时间的延长则明显降低.傅利叶交换红
会议
七月的上海,骄阳似火。而刘亭博士对伟大社会主义祖国的热爱,犹如七月的骄阳,火热、炽烈。刘亭博士——美国加州圣玛琍大学工商管理系教授、“美灵顶”咨询公司顾问,这次应
山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯山江清雯v山江清雯@杨健喜 Shan
期刊
本文介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对
一九八五年一月十七日、我院举行了第五届教学、科研学术年会,学院领导沈国荣、袁奎荣、张秋光、宋书义等同志及各系、处、部负责同志参加了大会。 本届年会共收到学术论文1