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为了研究非金属组元Si对Ru涂层阳极组织结构的影响，采用溶胶凝胶法制备了Si∶Ru(摩尔比)=1∶9的90RuO2-10Si02/Ti涂层阳极，通过DTA、XRD、SEM和TEM测试，研究了所制备涂层的组织结构。结果表明，该涂层的物相组成以金红石相的RuO2为主，SiO2加入量较少，呈非晶态。涂层的平均晶粒尺寸在20nm以下，颗粒呈现近似等轴状。涂层的显微形貌是“巢穴”状结构。