【摘 要】
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TiNi形状记忆合金薄膜微驱动器是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向.对于富Ti薄膜,由于其R相变的热滞极小,有助于改善驱动膜的频响特性.本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的TiNi/Si复合泵膜,并对其工作特性进行了测试.研究表明:TiNi薄膜的R相变可以作为微驱动器的驱动源,并可实现较高频率的驱动(166Hz);另外,加热电流和驱动频率对泵膜的驱动性能均有显著影响.
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究(上海)
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TiNi形状记忆合金薄膜微驱动器是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向.对于富Ti薄膜,由于其R相变的热滞极小,有助于改善驱动膜的频响特性.本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的TiNi/Si复合泵膜,并对其工作特性进行了测试.研究表明:TiNi薄膜的R相变可以作为微驱动器的驱动源,并可实现较高频率的驱动(166Hz);另外,加热电流和驱动频率对泵膜的驱动性能均有显著影响.
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