微机电系统相关论文
针对MEMS器件和光电器件的薄膜结构在高温下产生的应力与应变会严重影响器件结构与功能的问题,本文采用Suhir异质生长薄膜热应力计......
首先简要分析了全球、国内和省内智能传感器产业发展的现状，指出山东省智能传感器产业发展面临的不足；其次随后从指导思想和发展目标......
为提升微机电系统（MEMS）器件的性能及可靠性，MEMS圆片级封装技术已成为突破MEMS器件实用化瓶颈的关键，其中基于晶圆键合的MEMS圆片级封......
为改善微机电系统（MEMS）传感器在塑封过程中产生的金线偏移封装缺陷，对MEMS微波功率传感器模塑封工艺参数进行优化设计。通过正交试验......
太赫兹技术在成像、天文观测、生物医学和宽带无线通信等领域都有重要的应用价值,是能够对社会和经济发展产生重大影响的前沿技术,......
本文介绍了微机电系统（MEMS）压力传感器及其专用集成电路（ASIC）信号调理电路的校准和烧录系统设计，提出一种新型的自适应通讯设备，在接口......
由于基于光纤法布里-珀罗腔的传感器具有抗电磁干扰、易于小型化、灵敏度高、耐高温、成本低等优点,因此被广泛应用于航空航天、大......
谐振频率范围内的声波对微机电系统传感器的共振干扰是一种潜在的安全威胁,可导致MEMS加速度计信号路径中放大器失效。文章提出了......
利用微机电系统（MEMS）工艺，设计并制造了一种基于法拉第电磁感应定律的单片集成MEMS三轴磁场传感器。将两种不同结构的器件通过MEMS工......
近年来,物联网（IOT）的出现使得基于位置的服务（LBS）渗透到社会活动的方方面面,人们对室内定位的需求越来越大。目前室内定位方法主要有......
快速反射镜（Fast Steering Mirror, FSM）具有响应快、精度高、分辨率高等优势，被广泛应用于卫星激光通信、激光武器、自适应光学成像......
随着硅基MEMS工艺技术与应用水平的不断提高,MEMS的结构从二维结构发展到三维结构,高深宽比微沟槽结构因其具有狭窄而垂直的空气间......
该文提出一种基于锆钛酸铅（PZT）的低电压驱动微机电系统（MEMS）电场传感器。该传感器基于电荷感应原理，其敏感单元由固定电极和可动电极......
为提高微机电系统(MEMS)陀螺仪的标定效率及精度,提出一种基于改进模观测法的MEMS陀螺仪无转台标定方法.首先,对模观测法进行改进,......
随着体积小、精度高、智能化的MEMS器件得到越来越多的应用,MEMS计量测试技术的研究越来越重要.为了进一步提高和完善我国MEMS计量......
脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关.采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制......
针对传统悬浮式石墨烯压力传感器存在量程小、体积大、非线性度高等问题，设计了一种膜—岛结构的宽量程石墨烯MEMS压力传感器。使用......
针对微机电系统(MEMS)惯性传感器中数字信号处理电路的功耗问题,提出了两种新型场效应晶体管.两种晶体管分别被命名为具有“并联”......
微机电系统(MEMS)矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测.为实现水听器的精准探测,......
基于有限元仿真研究了方环和圆环形谐振器的静态位移点,并分析了支撑轴位置对谐振器性能的影响,提出了优化设计方案:对于方环形谐......
微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析.微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决......
随着微创手术的发展与进步,内窥镜以其创口小、术后恢复快等优点在医学辅助诊断中起着越来越重要的作用。医学内窥镜常在手术应用......
柔性电子在机械柔性、重量和尺寸等方面都优于传统的刚性电子,得到学术及产业界的广泛关注。压电谐振器是电子领域必不可少的器件......
声表面波（Surface Acoustic Wave,SAW）传感器是利用压电效应和声表面波传播的物理特性制成的MEMS器件。传统Si基MEMS应变传感器无法......
本文主要针对体微加工过程中微电子机械系统以及微机械加工技术中的硅微机械加工技术的联合运用进行研究，结合微电子机械系统技术的......
MEMS固体微推力器因其结构简单、能耗低、可靠性高、体积小等优点,在微、纳卫星上具有很好的应用前景.总结和概述了 MEMS固体微推......
阐述在软件定义的基础上,微纳卫星综合电子设计与实现,包括微纳卫星特点、综合电子设计要点、应用与实现,从而解决卫星任务模式、......
以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器.使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺......
金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热......
电容式微机械超声换能器相较于传统的压电式超声换能器具有宽频带、高密度阵元集成制造、微型化等优势,在医学成像、无损检测,水下......
毫米波技术在通讯、成像系统、射频天文以及临床医学等领域占据有利地位,毫米波技术的发展对行波管提出大功率、高增益、小型化的......
随着当代信息网络技术的飞速发展,人们对高速信息处理、高速信息传输能力、传输容量等方面的需求标准也在不断地提升。可调谐垂直......
为研究基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺对模态局部化加速度计的影响,通过分析释放和刻蚀工艺对模态局部化加速度计结构的影响以......
火工品是武器系统的首发元件,火工品的安全性和可靠性直接影响着武器系统的安全性和可靠性.为了满足弹药微型化、集成化的发展要求......
微机电系统(MEMS)陀螺与光纤陀螺相比,传感器的精度较低.为了提高MEMS陀螺的精度,通过组合多个相同陀螺实现虚拟陀螺的功能,同时提......
在微型设备和宏观尺度的真空环境中,非均匀温度场会引起稀薄气体流动,且浸没在气体中的结构会受到辐射力.文章采用直接模拟蒙特卡......
为了进一步探究微机电系统(MEMS)传感器领域中静电力对非线性振动的影响,以静电负刚度谐振式加速度计(ENSRA)为研究对象进行动力学......
微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems)简称MEMS,也被叫做微机械、微系统.电子机械系统,具有高响度速度、大行程、高精准......
微纳光学元件与微流控平台的集成能够促进生物化学分析的自动化并提高分析能力.由多种微加工技术制成的微纳光学元件有利于提高分......
我们基于微机电系统(MEMS)加工技术开发了基于特殊倒悬微结构的超疏液材料,具有优秀的结构及性能可控性,对水和油等几乎任何液体的......
本文基于MEMS现有工艺水平对基于EBG结构的两种不同结构的0.5THz腔体滤波器和感性窗口波导滤波器分别进行了设计研究.基于有限元法......
本文根据分支波导定向耦合器的工作原理,结合考虑MEMS刻蚀工艺,设计出一款应用于太赫兹波段的3dB功率分配/合成器.基于全波仿真软......
