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Atomic layer deposition for conformal thin films: basics and opportunities
【机 构】
：
Department of Applied Physics,Eindhoven University of Technology,P.O.Box 513,5600 MB Eindhoven,The N
【出 处】
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2015 Shanghai Thin Film Conference(2015上海薄膜国际会议)
【发表日期】
：
2015年期
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