直读光谱仪真空控制系统的设计与调试

来源 :第十七届全国光谱仪器与分析学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wjmwjm009
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真空系统是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、真空显示器、冷阱等,定的时间、空间内获得真空、并保持真空,确保系统内某项工艺过程的实施。本文论述了真空型直读光谱仪的真空控制系统的设计、调试及应用,是真空系统设计中一个极其成功的案例。
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