【摘 要】
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本文用磁控溅射的方法制备具有垂直各向异性的Nd22Fe7B/W薄膜,并研究W衬底层生成温度及衬底层厚度对NdFeB薄膜性能的影响.实验发现W衬底层有利于控制四方晶系NdFeB晶粒C轴沿
【机 构】
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钢铁研究总院功能材料研究所(北京)
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本文用磁控溅射的方法制备具有垂直各向异性的Nd22Fe7<,2>B<,6>/W薄膜,并研究W衬底层生成温度及衬底层厚度对NdFeB薄膜性能的影响.实验发现W衬底层有利于控制四方晶系Nd<,2>Fe<,14>B晶粒C轴沿垂直膜面方向生长,并制得具有垂直各向异性的Nd<,22>Fe<,72>B<,6>/W薄膜.最后利用Nd<,22>Fe<,72>B<,6>/W薄膜的H<,c>(θ)/H<,c>(O)随外加磁场与垂直膜面方向间夹角的变化关系,研究了薄膜的反磁化机制.实验表明Nd<,22>Fe<,72>B<,6>/W薄膜的反磁化机制是由一致转动控制的.
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