微机械发展现状与展望

来源 :中国兵工学会第10届测试技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tt24834051
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文对2000年10月12日在日本Hiroshima举行的第六届国际机械大会进行了总结.结合会议的发言与交流以及作者在日韩两国著名研究机构和国际大企业的参观访问实践,对当今MEMS领域的热点、前沿以及技术动向作了介绍.另外对国外的MEMS政策以及在教育、标准化、技术开发转让、基地建设、应用等方面的发展和现状也做了相应的介绍.并对国内和华北工学院微米纳米技术研究中心今后的发展做出了一些新的建议和设想.
其他文献
该文大大量研究的基础上,论述了可能作为加速度计操作原理的几种方案,介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
该文分析了国外加速度计研究的概况和发展趋势,介绍了几种差动电容式加速度计的结构,提出了一种新的三维差动电容加速度计结构,并分析了其力学模型。
该文通过对对称体微机械电容式力平衡加速度传感器进行力学分析的基础上,对电容式加速度传感器的灵敏度及固有频率进行计算机模拟计算,并以灵敏度和固有频率的乘积取优值,作为器
微米/纳米技术作为本世纪出现的高技术,将对国民经济和国防科技技术的发展产生深刻影响。作为微机械的应用,都首先期待着应用于医疗领域。普遍认为,把微机械应用于医疗福利领域,是
本文介绍了一种基于MEMS技术,采用静电致动原理,通过多晶硅表面微机械加工工艺设计、加工的硅微继电器.文中还给出了具体设计结构、加工工艺、技术参数等.
该文报道一种埋入式生理压力传感器,这是一种可以直接埋入人体进行现场测压的微型化的压力传感器。该压力传感器的基本量程为20KPa,外形尺寸为8×10mm椭圆形,厚约3mm,静态精度为0.3℅F.S。。介绍一种
该文介绍了当前国际上微机械研究的概况与发展趋势、相关基础理论和制作微机械的主要工艺技术。
作为党史工作者,我们深感责任重大,几年内跑遍了北京城,曾多次访问党的创建时期的老 同志。据初步统计,从1979年到1984年,先后访问了10多位老同志,共达60多人次。这些老 同志大多数
本文介绍了一种基于硅微技术的微继电器的抗冲击结构设计.文中重点给出了具体设计结构及计算.