【摘 要】
：
采用磁控溅射方法,在Al2O3基体上沉积纯Au膜和具有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层金属膜。利用四点探针法测试退火前后纯Au膜及有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层金属膜表面电阻率的变化。结
【机 构】
：
电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054
【出 处】
：
2009全国功能材料科技与产业高层论坛
论文部分内容阅读
采用磁控溅射方法,在Al2O3基体上沉积纯Au膜和具有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层金属膜。利用四点探针法测试退火前后纯Au膜及有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层金属膜表面电阻率的变化。结果表明,对于纯Au膜来说,在沉积态,随着沉积温度的升高,电阻率下降,180℃沉积温度以上,电阻率随沉积温度变化不大,退火后,Au膜电阻率均下降,在试验范围内趋于稳定值2.6μΩ·cm。在相同的沉积温度下,有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层膜的电阻率均比纯Au膜高,在300、400和500℃退火1h后,有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层膜电阻率均出现异常增大。
其他文献
采用元机导电云母粉作为添加剂制备紫外光固化抗静电涂层,通过丙烯酸酯低聚物、单体和导电云母粉的优化,得到了具有较好抗静电性能的紫外光固化抗静电涂层。并利用Real-time
伴随我国市政给排水工程施工技术不断创新，节能技术作为当下我国市政给排水工程设计能源、成本控制关键手段，其重要性不言而喻。通过近年来大多研究发现，节能技术应用的科学性与
为了帮助学生提升实践技能更好的将理论知识应用于实践过程当中，同时也为了帮助学生融入社会更好的步入工作岗位之中，技工院校通常会组织学生在毕业前夕去到相关的工作岗位实习
伴随现代市场经济的发展，新时期事业单位税收管理工作也面临诸多的挑战。政策不断变化，事业单位改革发展进程有序推进，如何进一步规范事业单位税收管理工作成为目前事业单位应当
“一无所有的时候，我心态平和，而有了很多钱以后，似乎就开始迷失” 寒冷的冬日 除了“博客教父”的称谓外，方兴东还是互联网实验室和义乌全球网的创始人。在经济危机的风浪席卷而来的时候，方兴东最先感觉到了冬的严寒。先是博客网裁员，而后是出现欠薪事件。 历经种种波折，昔日笼罩在方兴东身上的光环似乎一层一层被剥离，可这些，只是外界的一种揣测。出现在北京苏州街的一栋大厦里的方兴东，依然充满了理想
我国国土面积较大，且不同地区的地质条件存在明显的差异，矿产资源的分布存在较大的不均匀性，在客观上增加了找矿的难度。这就要求找矿人员必须积极应用先进的找矿技术设备，并结合
近年来,伴随着全球化和一带一路进程的推进，世界范围内各国掀起了一场 “汉语热”,许多外国友人纷纷走入中国学习中国文化知识，同时各国纷纷开设汉语课推广汉语和中国文化，但传
报导了利用Cu和NH4SCN的固-液界面反应在铜表面原位生长CuSCN薄膜的方法。使用激光拉曼光谱、X射线多晶衍射谱(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对CuSCN薄膜进行表征。实验证明,Al/
采用传统的固相烧结法制备(Ba1-xSrx)(Zn1/3Nb2/3)O3微波介质陶瓷,利用XRD研究该系统的有序-无序结构。系统随Sr2+取代量的增加,晶体结构逐渐由无序立方相转变为有序的赝立方
C-erbB-2是目前研究较多的癌基因之一,属于表皮生长因子受体(epidermal growth factor receptor,EGFR)的家族成员,其编码相对分子质量为185000的跨膜糖蛋白与EGFR相似,具有酪