【摘 要】
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应用MEMS技术加工了方形截面的MEMS类型微小喷嘴,并采用标准表法对MEMS和ISO两种类型微小喷嘴的临界背压比和流出系数进行了测量。实验结果表明,MEMS类型喷嘴可以实现临界流,但其临界背压比和流出系数均较相同雷诺数下ISO类型喷嘴要小,且受雷诺数影响小;对于同一块MEMS类型喷嘴,当安装方向不同时,入口段较长的流出系数总是比入口段较短的要大。基于实验结果,采用数值模拟计算的方法研究分析了滞止
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京 100013 南京市计量监督检测院,江苏 南京 210037
【出 处】
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2012年全国几何量精密测量技术学术交流会
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应用MEMS技术加工了方形截面的MEMS类型微小喷嘴,并采用标准表法对MEMS和ISO两种类型微小喷嘴的临界背压比和流出系数进行了测量。实验结果表明,MEMS类型喷嘴可以实现临界流,但其临界背压比和流出系数均较相同雷诺数下ISO类型喷嘴要小,且受雷诺数影响小;对于同一块MEMS类型喷嘴,当安装方向不同时,入口段较长的流出系数总是比入口段较短的要大。基于实验结果,采用数值模拟计算的方法研究分析了滞止压力对两种类型喷嘴流出特性的影响。
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