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运用DEA三阶段模型对2010年我国各省市高技术产业的投入产出效率进行了实证分析。在归纳已有研究成果的基础上,构建了我国高新技术产业投入产出效率评价指标体系,选取四个环境变量,以2011年的《中国高技术产业统计年鉴》和《中国统计年鉴》为数据来源,利用三阶段DEA方法对我国28个省市的高新技术产业投入产出效率进行评价。研究结果表明,剔除环境和随机因素影响后,各省市的高技术产业的效率发生了明显的变化,各省市高技术产业投入产出效率均值明显下降。研究还显示,行业企业数和政府资助促进了高技术产业效率的增长,而GDP和科技机构数没有起到应有的促进作用。在此基础上,提出了相关的政策建议以期促进高技术产业的进一步发展。