【摘 要】
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<正>随着航天和空间科学的发展及真空在原子能科学和表面物理、微电子学等学科中的应用,真空系统设计计算等应用越来越普遍。在真空系统设计中,流导的计算一般采用手工计算。流导与气流状态和管道形状密切相关,一般要先确定气体流态,再根据管道形状选择合适的参数计算。差分管的设计与流导、两端压力和泵的抽速有关。多级差分管的设计可通过单级逐级设计来完成。真空系统设计要通过反复尝试压力、泵的抽速、管道几何尺寸等参数
【机 构】
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中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
【出 处】
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中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
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<正>随着航天和空间科学的发展及真空在原子能科学和表面物理、微电子学等学科中的应用,真空系统设计计算等应用越来越普遍。在真空系统设计中,流导的计算一般采用手工计算。流导与气流状态和管道形状密切相关,一般要先确定气体流态,再根据管道形状选择合适的参数计算。差分管的设计与流导、两端压力和泵的抽速有关。多级差分管的设计可通过单级逐级设计来完成。真空系统设计要通过反复尝试压力、泵的抽速、管道几何尺寸等参数以建立满足使用要求的真空系统。手
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